TSMC cross_section

Z331 · 发表于 2022-8-15 14:11:35

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台积电文档中 1P12M_1x1xa1ya5y1yy2z，这一串符号代表什么？

fengrlove · 发表于 2022-8-15 14:26:55

design rule里metallization information 里很清晰的表格介绍

lygrc · 发表于 2022-8-15 14:35:47

本帖最后由 lygrc 于 2022-8-15 15:39 编辑

1P12M_1x1xa1ya5y1yy2z，大概意思是1层poly，12层metal，这12层metal类型是：一层M1，1层x、1层xa、1层ya、5层y、1层yy、2层z，不同类型层的metal性质有偏差，比如线宽和厚度甚至材料等，简单理解这么多就够了。

qiuqiuheng · 发表于 2022-8-15 15:18:17

lygrc 发表于 2022-8-15 14:35
1P12M_1x1xa1ya5y1yy2z，大概意思是1层poly，12层metal，这12层metal类型是：1层x、1层xa、1层ya、5层y、1 ...

解释的非常清楚，不过我有一点不同的理解哈，还有一层金属应该是M1，而不是RDL，M1是默认的，不体现在后边的组合中。

lygrc · 发表于 2022-8-15 15:40:54

qiuqiuheng 发表于 2022-8-15 15:18
解释的非常清楚，不过我有一点不同的理解哈，还有一层金属应该是M1，而不是RDL，M1是默认的，不体现在后 ...

是的，刚确认一下是M1，感谢指正，已经修改，以免误导别人

Z331 · 发表于 2022-8-15 16:04:38

lygrc 发表于 2022-8-15 14:35
1P12M_1x1xa1ya5y1yy2z，大概意思是1层poly，12层metal，这12层metal类型是：一层M1，1层x、1层xa、1层ya、 ...

非常感谢

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