28nm工艺，电容最小可以做到多少？

orientview

在保证线性度的前提下。

nanke

金属与金属间电容线性度就足够好，想做多小就多小。

orientview

   

nanke 发表于 2022-7-13 13:55
金属与金属间电容线性度就足够好，想做多小就多小。

可以做1aF的电容吗？

nanke

   

orientview 发表于 2022-7-13 14:27
可以做1aF的电容吗？

可以，两块金属线距离拉开，甚至中间插入连接第三端的金属遮挡以减小电容。周围用第三端做成的法拉第笼屏蔽，仅留出走线的通道，这个通道也要用第三端屏蔽。还可以多个电容串在一起。
绝对精度也可以靠这种方法tuning。在DRC允许的金属密度范围内应该是比较容易达到1af的量级的。

但没有意义，电容最终还是会变成电流或电压，电流或电压的噪声会淹没这么小的电容带来的分压或分流。不管是测量还是滤掉噪声都是很困难的.

orientview

   

nanke 发表于 2022-7-13 15:44
可以，两块金属线距离拉开，甚至中间插入连接第三端的金属遮挡以减小电容。周围用第三端做成的法拉第笼屏 ...

是啊，那有意义的电容，最小可以做到多少？

nanke

   

orientview 发表于 2022-7-13 15:56
是啊，那有意义的电容，最小可以做到多少？

分论文。量产，以及不同厂家工艺。

论文是公开的，你查那些JSSCC 的论文可以搜集信息。

orientview

   

nanke 发表于 2022-7-13 17:02
分论文。量产，以及不同厂家工艺。

论文是公开的，你查那些JSSCC 的论文可以搜集信息。

谢谢。

量产呢？我就是想知道量产的。