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[求助] BCD 高压工艺,做高压poly电阻,能直接放PSUB上面吗?

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发表于 2022-6-20 10:28:27 | 显示全部楼层 |阅读模式

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BCD 高压工艺,做poly电阻,如果电场氧(是不是二氧化硅栅氧层)阻上是20V高压,直接做在PSUB上,这个高压会不会把下面的栅氧击穿?
发表于 2022-6-20 12:25:58 | 显示全部楼层
厚氧化层击穿估计有几百伏。寄生厚氧管有可能几十伏开启。
发表于 2022-6-20 13:39:34 | 显示全部楼层
可以看一下Fab提供的工艺文件,一般会有poly电阻的耐压范围。
发表于 2022-6-20 13:40:34 | 显示全部楼层
一般要放到高压的WELL里面。。。
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