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查看: 2720|回复: 8

[求助] smic180 DG层 工艺中是否存在

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发表于 2022-1-19 10:02:29 | 显示全部楼层 |阅读模式

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smic180 DG(Dual Gate )  是define 5V IO device 层

  但在非IO的高压mos上 也存在这一层
在工艺中 这一成是否有实际生产层 还是仅仅标记层呢??

发表于 2022-1-19 10:35:34 | 显示全部楼层
这个工艺叫dual gate oxide process,是有不同的生产步骤
发表于 2022-1-19 10:37:39 来自手机 | 显示全部楼层
没有做过smic的工艺,我想大部分工艺定义这种层次的含义是共通的,有这一层说明器件应该不只有5v的栅氧,应该还有其它电压的栅氧,例如1.8v的栅氧,所以这一层是有实际意义的,并不是单纯的标记层,它定义了生产过程中栅氧的厚度!
 楼主| 发表于 2022-1-19 10:57:17 | 显示全部楼层


843071455 发表于 2022-1-19 10:37
没有做过smic的工艺,我想大部分工艺定义这种层次的含义是共通的,有这一层说明器件应该不只有5v的栅氧,应 ...


谢谢
 楼主| 发表于 2022-1-19 10:58:47 | 显示全部楼层


搓芯片的酋长 发表于 2022-1-19 10:35
这个工艺叫dual gate oxide process,是有不同的生产步骤


谢谢
发表于 2022-1-19 17:10:25 | 显示全部楼层
DG是mask layer不是CAD layer
 楼主| 发表于 2022-1-20 14:30:27 | 显示全部楼层


封心锁爱 发表于 2022-1-19 17:10
DG是mask layer不是CAD layer


mask 层是工艺设计中 需要处理的层 是吗??
而你说的CAD层 又是什么意思??  CAD中存在而实际生产时 没有的layer??  
谢谢 !!
发表于 2022-1-21 13:58:17 | 显示全部楼层


15965256055 发表于 2022-1-20 14:30
mask 层是工艺设计中 需要处理的层 是吗??
而你说的CAD层 又是什么意思??  CAD中存在而实际生产时 没 ...


mask是实际生产的,CAD layer就是mark for DRC,LVS or DFM等辅助层
 楼主| 发表于 2022-1-21 15:09:27 | 显示全部楼层


封心锁爱 发表于 2022-1-21 13:58
mask是实际生产的,CAD layer就是mark for DRC,LVS or DFM等辅助层


谢谢。
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