不同工艺下的格点是怎么来的？

prince之风 · 发表于 2021-12-31 17:48:42

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不同工艺下的格点大小是怎么来的，例如7nm的格点0.0005um,这个0.0005um是通过7nm工艺相关的一些值通过什么公式计算得来的吗？不应该是随便设的吧

出来打篮球 · 发表于 2022-1-1 08:57:10

不同工艺格点不一样

JustinLuo · 发表于 2022-1-1 09:48:01

PDK里面有

水仙君 · 发表于 2022-1-3 07:40:47

有人知道吗？是和工艺精度公差走关吗

prince之风 · 发表于 2022-1-4 10:09:33

出来打篮球发表于 2022-1-1 08:57
不同工艺格点不一样

我知道不一样老铁，我是在问这个格点是怎么来的，是不是通过工艺节点、光刻尺度或是其他什么工艺尺寸通过一个格点定义式计算得来的？我公司有大佬说看到过，好像是有一个既定的公式计算得来的，但忘记在哪看的了，我也没找到，所以来问问有没有大佬知道的

出来打篮球 · 发表于 2022-1-4 13:34:20

prince之风发表于 2022-1-4 10:09
我知道不一样老铁，我是在问这个格点是怎么来的，是不是通过工艺节点、光刻尺度或是其他什么工艺尺寸通过 ...

这个不太清楚了... 工艺迭代会有不同主要版图影响会对不齐

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