请问国内哪家晶圆厂能提供MEMS和CMOS融合工艺？

greensigma · 发表于 2021-10-19 13:42:41

即MEMS流程由甲方参照晶圆厂的工艺资料自行设计，与CMOS电路一起代工完成。请问国内有提供这种服务的晶圆厂吗？

dongmou · 发表于 2021-10-19 13:42:42

据我所知没有，不过你可以尝试用CMOS工艺在TOP层做MEMS，然后走CMOS流程流片

kofkoy2000 · 发表于 2021-10-20 22:35:42

看具体的MEMS工艺以及投入的资金水平

jeffej · 发表于 2022-2-20 17:20:01

看看國外的fab是否能提供

william_qi2010 · 发表于 2023-2-11 21:45:04

绍兴中芯应该有的吧？

Whour · 发表于 2023-6-16 08:40:09

微系统设计

ncver_90 · 发表于 2023-11-14 15:50:19

这需要器件的MEMS是兼容CMOS的才可以

刘易特 · 发表于 2023-12-12 17:44:11

你是想做那方便的MEMS？如果是温湿度MEMS，应该都可以

千雪 · 发表于 2023-12-28 09:24:24

如果涉及表面器件的话MEMS和CMOS可以在一家做，如果有比较复杂的可动结构的话，只能分别找代工厂家了。

Huan2016 · 发表于 2024-6-14 15:53:08

中芯国际绍兴厂可以试试

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