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[原创] wafer衬底类型

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发表于 2021-10-8 11:43:28 | 显示全部楼层 |阅读模式

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问题一:wafer来料中的衬底是否为中性?fab中p型衬底wafer是怎么得到的?需要在拉晶切片后扩散吗?
问题二:为什么fab一般会采用P型衬底硅?
发表于 2021-10-8 15:42:52 | 显示全部楼层
1.衬底类型购买时是可以选择的,我记得之前直接买来就是P型的;P型是通过外延工艺搞得,不是扩散;
2.来自百度:(1)因为P衬底的少子是电子,而N衬底的少子是空穴。电子的迁移率要大于空穴的迁移率,而MOS器件是少子导电,所以采用在P衬底上可以集成速度更快的NMOSFET。而PMOS必须要做到N阱里面。
(2)从电路设计的角度,衬底如果是p类型的,那么会将衬底接地来实现pn结反偏,这样在电路设计上比较简单。毕竟是地嘛,选一个质量还行的地接上就可以了…  与之对应的,n型衬底,就要将衬底接电源,以保证pn结反偏。而事实上对于目前的soc系统,芯片上的电源会有好几种,比如1.1v 的core 电源,1.1v的soc电源,1.8v 的模拟电源,3.3v的IO电源,5v的usb电源…对于这么多电源,因为衬底是公用的,为了保证pn结一定是反偏的,那就要将n型衬底接到最高的5v电源上才行,那问题来了,在实际应用中,这个usb可能是没有被使用的,那它的5v电源就没有了,这样的话,n型衬底实际上就不知道接到了什么电压值,进而造成整个chip无法正常工作。所以,使用n型衬底对目前的soc设计而言,不是很方便…
 楼主| 发表于 2021-10-9 14:42:57 | 显示全部楼层


OLED721 发表于 2021-10-8 15:42
1.衬底类型购买时是可以选择的,我记得之前直接买来就是P型的;P型是通过外延工艺搞得,不是扩散;
2.来自 ...


感谢回复,
关于问题一:所以通常foundry厂CMOS工艺都是在P型外延片基础上加工的吧?是否知道外延层厚度是多少um呢?
关于问题二:关于第一种说法,我不是很理解,如果是P型衬底,首先需要做N井来做PMOS;如果是N型衬底,首先需要做P井来生成NMOS;如果是绝缘衬底,需要同时做N井和P井;可以看出P型衬底和N型衬底都需要一次井生成,第一种说法好像说不通呢?
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