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[求助] 0.18um工艺poly-efuse问题

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发表于 2021-8-30 15:25:07 | 显示全部楼层 |阅读模式

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本帖最后由 bob23456 于 2021-8-30 15:44 编辑


采用国内0.18um工艺自行设计的poly-efuse结构(32*8bit)(不是工艺厂提供的,工艺厂没有提供efuse)。
熔丝W=0.18um,L=1.08um,大概40欧姆左右。
烧写熔丝电源采用3.3V,电流50mA左右,脉冲宽度1us。
读取电路分时共用(电阻判定值5K,大于5K输出高)。

现在投片出来大部分芯片读取烧写正常,有一部分烧写异常。烧写异常的芯片多次烧写后读取正常,还有一小比例烧写不成功。

分析原因可能是上电时或读取熔丝时有几百uA的电流流过熔丝,导致熔丝阻值变大但又小于5K。阻值变大的熔丝再烧写就比较难烧了。
读取熔丝的偏置电流只有2uA,但是读取电路某节点上因为挂了256个(熔丝和选择开关管),所以寄生电容比较大。
从烧过熔丝的一位切换到下一位没烧过熔丝位时产生电压差,瞬间释放几百uA的电流(仿真来看从1M阻值烧写熔丝位切换到40欧姆没烧写过的熔丝位
有小于200uA以内的瞬间电流)。

请问各位大神0.18um工艺poly-efuse采用多大W值能挺过500uA以下的瞬间电流(几十ns时间),熔丝阻值不怎么变化。

熔丝版图如下:

image.png

发表于 2021-10-20 15:05:00 | 显示全部楼层
请问你跑LVS是怎么跑的呢,自己写cdl吗?
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