MOS管子的多晶为什么必须要出有源区，不能直接在有源区上面

li1113528075 · 发表于 2021-7-1 17:23:20

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Quinn714 · 发表于 2021-7-1 17:39:52

保证在有源区上面的沟道有效区域是均匀一致的你如果不出头在沟道上直接打孔你管子的电参数肯定有变化影响vth、开启电压什么的在透彻一点你可以看下半导体器件

ol0930 · 发表于 2021-7-1 18:38:37

制造工艺有偏差，不给实际制造留余量，如果poly没有完全覆盖有源区，扩散的源漏区可能会直接短接。
建议看几遍CMOS工艺的制备步骤。

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