打听个事儿。SMIC的40nm rf工艺，就真没有电磁仿真配置文件吗？

kanon0530

kanon0530 发表于 2021-3-8 09:22
我这里只有一个rf spice model 文件里提到了金属层、介质层相关的信息。
这一部分内容叫做interconnect m ...

因为不确定哪些属于厂商的机密信息所以把数据打了个码，各位看看表格各栏的命名就行……

上官轩晖

电磁仿真配置文件不都是看PDK说明文档的各层介质层，导电层信息自己配置的么？俺跟10楼一个看法。

kanon0530

上官轩晖 发表于 2021-3-8 10:14
电磁仿真配置文件不都是看PDK说明文档的各层介质层，导电层信息自己配置的么？俺跟10楼一个看法。 ...

我之前用的一个pdk是不仅提供了substrate文件。还把substrate文件、还有via和fill的简化文件都打包成一个文件夹。直接把他们提供的几行代码贴在.cdsinit文件里再开virtuoso就能直接配置好。

而且看了下各层结构，感觉还挺复杂的，不是我想的那种一层介质一层金属的简单结构。金属可能往上或者往下长，两层金属之间的介质也不大一样，两层金属之间还可能是又细分了好几层不同介电常数的介质。
我是可以尝试着自己看看能不能把subtrate文件建起来啊，但感觉出错的概率不小。
就这种东西难道不应该是工厂根据metal option来提供吗？

kanon0530

下班自顶是个好习惯。

kanon0530

好，目前打听到的结果是：只有少数几个metal option给了proc文件，需要用EMX来做电磁仿真。
折腾了两天可算是跑通电磁仿真流程了，坏消息是我之前图省事儿选的全metal 不带proc文件……得换metal option。
幸好只做了VCO……

kanon0530

另外关于calibre提取出300um的连线有nH电感这个事儿呢。
目前两个情况，把induc range缩到100um以下，是不会出现nH量级电感的，但也有百pH量级了。40um以下是10pH量级。而且两条走线提出来还是不大对称，虽然代回去仿真看到的幅度差别不明显吧。

以上是用calibre 2015提的。

后来看手头上还有2016和patch，于是又试了一下2016.
这下好了，induc range放到全芯片尺寸还是只有10pH量级的寄生电感。对称性也比2015提出来强一些。但还是会随着induc range的放大，看到后仿的输出幅度下降，但不会像2015的提取结果一线掉50%以上，大概也就掉40%。

现在基本可以认为：
calibre 2015不靠谱
calibre2016也不一定能信
还是老实一点，换metal option，找个有电磁仿真配置文件的，把VCO的core和带buffer的版图都从头做一遍。

btw 放上栅格状地平面之后，calibre提取寄生那叫一个慢。光追求速度我也应该去做电磁仿真。

VAEEE

kanon0530 发表于 2021-3-12 09:22
另外关于calibre提取出300um的连线有nH电感这个事儿呢。
目前两个情况，把induc range缩到100um以下，是不 ...

学到了，一般电感不用calibre提，会引起电感问题的走线也不会太长

kanon0530

VAEEE 发表于 2021-3-12 09:35
学到了，一般电感不用calibre提，会引起电感问题的走线也不会太长

VCO的ind到有源器件大概几十um吧，虽然不多，不至于引起Q值掉太多VCO振不起来。但也会担心calibre提的不准，造成设计的谐振频率跑掉。
百um量级的长走线也就从buffer到pad，或者后边可能会有比较长的级间走线。如果电感提的不准，是不是也得担心匹配跑了，驱动不了后边的分频器之类的。

nan970416

kanon0530 发表于 2021-3-12 09:22
另外关于calibre提取出300um的连线有nH电感这个事儿呢。
目前两个情况，把induc range缩到100um以下，是不 ...

楼主我现在也是用的这个工艺，请问可以加个微信吗  ，想请教下电磁仿真。

nan970416

楼主可以加个微信吗？ 目前也在用这个工艺，只用calibre抽，选择不同的抽取方式可以抽出来。现在想问一下EM仿真。