smic180mmrf工艺的metal的dummy禁止层是哪一层?

zqlv · 发表于 2021-2-24 13:42:15

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tsmc180rf工艺的metal的dummy禁止层是DMEXCL，与之对应的smic180mmrf工艺的metal的dummy禁止层是哪一层？

zqlv · 发表于 2021-2-25 10:17:47

没有高人了解吗？
在techfile.tf里找到跟M1相关的M1B和M1DUB两个层，不知道是不是这两个层之一？

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