现在14G下 TSMC 65 工艺的电感模型到底准确吗？

CWBBest · 发表于 2020-10-20 21:27:07

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本帖最后由 CWBBest 于 2020-10-21 14:30 编辑

最近做 14GHz VCO 设计，选择了很久的电感，把最终方案提交上去的时候，老板说电感Q值太大了，为25~30。说电感Q值不可能这么大，是模型不准。

我感到很奇怪，TSMC 65LP工艺文档里给到实测电感Q值在2G附近有15~20，然后的电感模型趋势图也给到了25G，PDK里的inductor finder也支持到20GHz的频率。我做14G的VCO还用担心电感模型不准吗？

VCO结构是负阻LC振荡器，仿真电感时使用的是差分电感仿真方式。

希望有经验的人士能够给予解惑，谢谢大家了！

c290675956 · 发表于 2020-10-21 15:17:36

建模仿一下不就放心了。。

CWBBest · 发表于 2020-10-21 18:24:19

c290675956 发表于 2020-10-21 15:17
建模仿一下不就放心了。。

建模的话，工艺所用的绝缘层、金属、衬底这些介电常数之类的参数从哪里获取呢？手册上好像没有。

yzh1123 · 发表于 2020-10-22 17:35:37

在14G这个频率，Q值到30是有点大了

CWBBest · 发表于 2020-10-23 10:27:24

yzh1123 发表于 2020-10-22 17:35
在14G这个频率，Q值到30是有点大了

按理说65nm现在应该是很成熟的工艺了呀，我看文档12年之后就没有过更新了，为啥里面的电感还是不准确的呢？

rayhardenne · 发表于 2020-10-23 14:26:21

自己拿HFSS建个模试试就知道了，理论上在14G的model不会差很远

一条鱼儿123 · 发表于 2020-10-23 17:55:27

找个emx提取一下，衬底文件要自己查找pdk文档来写

andyfan · 发表于 2020-10-23 18:57:51

CWBBest 发表于 2020-10-21 18:24
建模的话，工艺所用的绝缘层、金属、衬底这些介电常数之类的参数从哪里获取呢？手册上好像没有。
...

pdk抽寄生的文件夹里面找ITF

whyeah · 发表于 2022-7-9 21:28:28

andyfan 发表于 2020-10-23 18:57
pdk抽寄生的文件夹里面找ITF

请问在哪个文件夹里可以找到ITF啊，我用的是caliber提取参数没有找到

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