[求助] Silvaco仿真求助

发表于 2020-10-9 16:16:36 | 显示全部楼层 |阅读模式

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Silvaco仿真trench Mosfet中，按照实际工艺跑出来的结构N-source和P-body的结连在一起，如图：

这种状况主要出现在20V-30V产品，沟道比较短的设计中，出来的结构看，N-source结推的比较深，P-body推的比较浅，可能是造成这种状况的原因。
求助大神，遇到这种情况怎么调整，怎样不修改implant dose和energy的情况下，调整成和实际流片结果相同呢？

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