我对工艺文件并不是很熟悉,请问是查图示中的那一张图?分区我估计是用里面的宽长的最大减最小,那么里面的dxln_na(或是dxln)是用的哪一个。dxln_na在mc_na,和各个工艺角都存在(ss_na,tt_na等)。另有不带na的,也就是第1张图,有和上面一样的情况,请问区别是什么?这里面的题头里的STD-SVT,STD-VT,都指什么?nch,nch_mac,nanch_mac,都是什么?不知道该怎么用另外想请问一下,哪里有对工艺文件的说明文件,好多符号看不懂
还有这里面带有mac(_na的似乎都是)的似乎都与mismach有关,还是说与蒙特卡洛Monte Carlo 有关,请问具体是什么含义?
小白求助一下大佬,真诚希望与您交流。