如何确定硅刻蚀的窗口？

zhouyang123 · 发表于 2019-7-19 17:14:47

lijie5992373 · 发表于 2019-7-19 17:26:55

这个窗口深度可以量出来的啊，SCD可以量高度，如何control，就by time干法蚀刻就完事

zhouyang123 · 发表于 2019-7-20 15:45:24

lijie5992373 发表于 2019-7-19 17:26
这个窗口深度可以量出来的啊，SCD可以量高度，如何control，就by time干法蚀刻就完事 ...

这个深度要做多少呢？怎么判定一个更好的深度窗口呢？

lijie5992373 · 发表于 2019-7-22 10:42:32

zhouyang123 发表于 2019-7-20 15:45
这个深度要做多少呢？怎么判定一个更好的深度窗口呢？

撒DOE， TT/Etch+/Etch-，看看哪个器件性能是最符合你需求的，然后结合Foundry工艺是否有risk，定到底要做多深

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