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楼主: shsoc

[讨论] 5nm design issue

楼主| 发表于 2019-5-21 10:50:27 | 显示全部楼层

yitengzeng 发表于 2019-5-21 09:20
because same layer have double pattern DRC that means layer metal made by different mask. But EUV on ...

so when EUV is involved, the need of double pattern will dispeared, right?

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发表于 2019-5-21 16:26:51 | 显示全部楼层

shsoc 发表于 2019-5-21 10:50
so when EUV is involved, the need of double pattern will dispeared, right?

Maybe not all layer

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