ESD

apachee

Dear all,
请问RC 触发的Power clamp 结构中，ESD管的Drain 端加SAB层的作用是啥？而GGNMOS结构中的ESD管的Drain 端加SAB层的作用是啥？谢谢

andyjackcao

Dear all,
请问RC 触发的Power clamp 结构中，ESD管的Drain 端加SAB层的作用是啥？而GGNMOS结构中的ESD管的Drain 端加SAB层的作用是啥？谢谢

都是提高MOS的ESD能力的

462126897

Salicide工艺是减小电阻的，SAB是阻挡这个层形成的，对ESD重要。不然ESD电流就从salicide走了，也就是器件表面，这ESD一打就坏。