这张图工艺是怎么做的？求大神告知

一条小鲸鱼 · 发表于 2019-2-14 20:52:20

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netelectron9 · 发表于 2019-3-24 17:50:07

注氧+退火

iamshan · 发表于 2019-5-13 15:47:29

楼上的解释了详细的可以参考《SOI技术 21世纪的硅集成电路技术》

张学胜 · 发表于 2021-1-8 08:12:46

666666

yueywcy · 发表于 2021-2-10 01:46:01

顶一下。

martin241 · 发表于 2021-3-8 09:42:05

SOI 晶圆的一种加工方法，注入O+退火

loopgain · 发表于 2021-3-8 09:55:38

很先进的工艺

划水的咸鱼 · 发表于 2022-3-29 20:41:37

厉害了，学习到了~

wsrzsg · 发表于 2022-5-6 21:54:50

SOI工艺，有三种方法可以实现。其中一种就是注氧+退火。还有键合减薄和智能剥离键合（注氢）

jurong008 · 发表于 2022-7-11 13:57:30

注氧+退火

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