为什么在工艺文件描述中比如4M_1x1y1z这种没有M1的层次，x就是从M2开始的？？？

你是小纯洁 · 发表于 2019-2-11 19:19:50

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为什么在工艺文件描述中比如4M_1x1y1z这种没有M1的层次，x就是从M2开始的？？？就是1x是M2，1y是M3，1z是M4。那M1为什么不写出来的啊。

颜鹏飞 · 发表于 2019-2-13 09:48:46

回复 1# 你是小纯洁

我没见过4M_1x1y1z，但是应该和其他标记的道理是相通的，目的是让我们了解金属组合情况：

1，我们关注金属的总层数和顶层金属厚度；所以代号中需要体现出这两个信息，比如1P4M，3M1T（总共3层金属，顶层使用thick metal）。
2，你这x, y, z有什么特殊之处么？如果没有的话，这么“1x1y1z”列出来有点多此一举哎。

andyfan · 发表于 2019-2-13 15:03:21

习惯而已，你说的是T的习惯。换另外一个FAB就是另外一种习惯了

clavines · 发表于 2019-2-13 21:58:59

是的！你的認知是正確的

小马哥爱逛 · 发表于 2019-2-14 16:56:54

楼主应该是理解错了，x，y，z分别代表不同参杂的金属而已。不是说1x就是M2,1y就是M3，1z就是M4。正确的理解，比如7M_5x_2z。 5x就是代表M1_M5,2z 代表M6_M7。有些工艺厂会把M1当成不可选的金属，所以在定义的时候就把M1给取消了，比如T家的就是7M_4X_2Z...

bing_bing · 发表于 2020-7-8 16:06:26

7M_5x_2z 总共7层金属 M1 默认+5层x类型的金属+顶层M7(厚度是Z型金属厚度的2倍)

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