流片后看不到芯片内部结构

Alex杜 · 发表于 2018-7-13 09:55:29

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流片完成后，拿显微镜看不到芯片的内部电路结构，只能看到一些PAD点，这是为什么呢？有没有大神赐教下

梅周峰008 · 发表于 2018-7-13 09:59:04

难道你还想看到P sub ?

梅周峰008 · 发表于 2018-7-13 09:59:30

难道你还想看到P sub ？

layout123 · 发表于 2018-7-13 10:03:09

就像三明治一样，得一层一层揭开了看

note30933 · 发表于 2018-7-13 11:34:59

good point

firewolf223 · 发表于 2018-7-13 12:09:07

这是一个好问题

pancrasMa · 发表于 2018-7-13 14:38:50

这很正常啊，你想看到啥啊

Luicfron · 发表于 2018-7-13 14:55:11

应该能看到top Metal的金属连线,再往下就看不全了

powerboy711 · 发表于 2018-7-13 16:44:40

去层啊。

939895dz · 发表于 2018-7-14 14:44:01

不会吧，应该多多少少能看到一些东西，不同衬底上以及掺杂浓度上的氧化速率有差距，所以在流后芯片表面的高度会有差距，不同高度呈现的颜色不一样，基本上几千埃的差距颜色就不一样了，不存在去层不去层，metal1到metal5是一个颜色，不是版图上你看到的五个颜色。有一种可能就是钝化层把表面高度拉平了，所以你看不到颜色差距。

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