请教器件失配的问题

小小L · 发表于 2018-5-21 22:53:56

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工艺手册里电容在很小容值的时候由于工艺精度的影响，导致生产出来偏差较大容易理解，但不理解为什么失配曲线会出现一个谷值，也就是在某一点后容值越来越大精度反而变得越差？

andyfan · 发表于 2018-5-22 21:17:15

也容易理解啊，晶圆沿着某个方向一般由于工艺会存在梯度误差。我举个极端的例子，整个芯片就2个电容，你是画两个完全一样大的，一左一右匹配好，还是细分成一定数量，交叉连接匹配比较好？

特别小，是因为光学效应造成的LER引起误差。特别大，是因为梯度误差造成的，来源不一样。

room深渊 · 发表于 2020-9-28 15:19:28

2楼讲解很清楚，学习了

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