半导体芯片制造

gao2004j · 发表于 2018-5-9 13:54:41

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

代工厂在芯片制造过程中,抽取一部分晶圆进行了工艺拉偏.
请问一下:什么是工艺拉偏?

wzcow888 · 发表于 2018-5-19 21:49:52

所谓工艺拉偏我的理解就是，对同一个工艺设置一系列不同的参数，看哪一个参数最合理，比如不知道光刻胶厚度到底控制在多少最好，就分别刻0.5um，1um，1.5um等等依次比较，然后得到最优工艺

gao2004j · 发表于 2018-5-24 14:00:53

回复 2# wzcow888

谢谢！

[求助] 半导体芯片制造