为什么在版图中有源区和poly重叠的地方不能打接触孔，求解答

jessiann · 发表于 2018-6-28 20:01:10

打孔会导致阈值电压的漂移，不要乱猜。

18530951516 · 发表于 2020-12-23 09:20:20

四楼说的很对

litong717 · 发表于 2020-12-23 09:26:16

都有道理哈哈

jeffej · 发表于 2020-12-23 10:02:24

depend on fab design rule

咕咕嘎嘎 · 发表于 2022-7-25 15:09:10

nice!

jiangxia0hei · 发表于 2022-7-26 11:34:06

因为AA与POLY，重叠区域是属于薄栅氧区域，如果打cont会影响MOS管沟道，类似与沟道击穿！

jsonli0201 · 发表于 2022-7-27 10:11:34

孔打在沟道上容易被击穿沟道，导致器件失效

ic_shuo · 发表于 2022-7-27 10:32:03

Gate有精度要求

policectsu · 发表于 2022-10-11 15:52:08

学习了学习了

Albert_z · 发表于 2022-11-1 15:31:24

你们没有听说过接触孔直接打在衬底上的故事吗？

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