为什么在版图中有源区和poly重叠的地方不能打接触孔，求解答

gybak · 发表于 2018-4-25 14:06:42

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ch085234 · 发表于 2018-4-25 15:05:23

会违规的吧

chinarml · 发表于 2018-4-25 19:33:48

有源区和poly重叠的部分是cmos的gate，就是沟道。gate上不允许打孔应该是代工厂的要求，
沟道作为一颗mos最关键的结构，对于精度的要求是很高的。
而打通孔时需要盖掩膜版，光照，刻蚀等工业处理。
在poly和metal1中间的绝缘层打孔，这些操作可能会影响到沟道的精度。
所以rule中不仅不允许在gate上打孔，而且还有spacing的要求。

以上都是我的推测，真是原因我觉得应该资深PE才能知道。
欢迎大家积极讨论