Sentaurus仿真表面缺陷，怎么定义“表面”？

mchdtk

仿真表面缺陷的时候，不知道怎么定义一个区域的表面，因为表面和界面不同，界面是两块区域相接触形成界面，而表面是表面一薄层，表面缺陷的单位又是/cm2，所以又不能定义为一个体区，而表面缺陷在体区和表面是有很大差别的，不知道有没有大神懂这方面的，还请赐教！