生产过程中的术语CD

yueluofenghen · 发表于 2016-9-14 16:50:56

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请教大家一个问题：
我在foundry的文档中看到一个术语“CD”，全部上下文只有一句“wafer fab CD”。推测应该是制造过程中的一道工序或者是指标什么的，不知具体如何解释。
期待大牛出现。

yueluofenghen · 发表于 2016-9-14 16:58:36

查了查，隐约感觉跟dota的CD是一个词儿啊，，，，赶紧来纠正我。。

yueluofenghen · 发表于 2016-9-19 08:49:51

每天例行顶贴，没人能解惑么

中华神起 · 发表于 2016-9-19 09:16:10

current density,不过应该不是……

yueluofenghen · 发表于 2016-9-19 14:13:29

回复 4# 中华神起

必须不是

x_logen · 发表于 2016-9-25 12:17:32

CD :测量

yueluofenghen · 发表于 2016-9-26 09:25:07

回复 6# x_logen

能不能详细说说

x_logen · 发表于 2016-9-26 11:28:57

回复 7# yueluofenghen

M1_PH ADI CD

金属1 ADI测量

这个就是 metal 1 ADI CD 检测，比如metal 1 line:1.0±0.1um 那么这步就是需要量到实际生产的metal 1 line 是否符合要求。不知道我们是否说的是同一个CD的概念。

Snowy2016 · 发表于 2016-9-27 16:05:50

Layout这边指Critical dimension，即：特征尺寸。

okfunny · 发表于 2016-11-4 20:10:53

critical dimension 特征尺寸，衡量工艺的关键参数
current density 一般不会说缩写，缩写的话用EM

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