国内哪些地方可以刻蚀钝化层和介质层

wmchpu · 发表于 2015-10-24 11:14:03

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求助，国内哪些地方可以做钝化层和介质层的刻蚀，光电器件，钝化层和介质层影响器件性能。。。

aleikiss · 发表于 2015-10-29 16:31:56

什么样的要求？？

wmchpu · 发表于 2015-10-29 19:32:01

回复 2# aleikiss

1um×1um左右的裸芯片，需要刻蚀掉器件有源区上方的钝化层（SiN）和介质层（TEOS），厚度在4-5um，每个器件的有源区面积30-50um，刻蚀完后需要淀积SiN。兄台知道哪里能做么？

[求助] 国内哪些地方可以刻蚀钝化层和介质层