求助：TSMC 0.11工艺 ----请知道的帮忙解答一下！

henryshen2000 · 发表于 2015-10-21 11:27:06

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

请问一下： 1、 TSMC 0.11是铜制程还是铝制程的？还是像UMC那样两者都有？
2、是不是0.13的缩版？
3、 TSMC 0.11的内核1.1V工作是需要特殊工艺支持吗？

icfbicfb · 发表于 2015-10-21 13:40:25

1. 我觉得是copper，通常0.13 都是copper制程
2. 通常是的， 90% shrink版
3. 按照design rule来吧，1.1~1.2v都可工作的，不算特殊工艺

这些问题design rule里面都会讲的，以文档为准

michang5342 · 发表于 2015-10-21 23:12:38

台积电0.11有两种process note，一种是全铜另一种是所谓的hybrid:金属3以下是铜，以上是铝。之前hydrid是不开放给一般的客户使用的。

henryshen2000 · 发表于 2015-10-22 10:07:44

多谢icfbicfb版主和michang5342的热心回复，刚好看到TSMC的hybrid的库，这样就清楚多了！

henryshen2000 · 发表于 2015-10-22 10:12:34

再问一下，TSMC的全铜制程是所有都是用铜吗？
据说有些铜制程工艺的顶层金属是铝，还有SMIC 0.11工艺是在顶层加一层铝的PAD层。

icfbicfb · 发表于 2015-10-22 10:50:38

最上层AP 一般是铝金属，下面都是copper

hjc19951212 · 发表于 2022-2-8 23:21:55

icfbicfb 发表于 2015-10-21 13:40
1. 我觉得是copper，通常0.13 都是copper制程
2. 通常是的， 90% shrink版
3. 按照design rule来吧，1.1~1. ...

shrink 的意思是什么呀，比如版图上40nm的工艺，版图画的40nm的L ，shrink 90% 实际生产出来这个L就是36nm了吗

zhh124 · 发表于 2022-2-9 16:05:22

0.13早期也是铝制程，后来改成铜

[求助] 求助：TSMC 0.11工艺 ----请知道的帮忙解答一下！