Designer MIM CAP 問題

j255579 · 发表于 2015-10-20 14:15:58

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各位大大好

最近想跑MIM 電容的EM 模擬

我使用的是Designer 軟體

現在卡在要設定CTM的材質

我目前有M6 打VIA到 CTM CTM下面是M5

目前CTM材質設跟M5一樣

那厚度跟起始高度都比照PDK給的

跑出來是有問題的

所以想請問CTM的材質以及CTM 到Metal 5 之間
有要額外加甚麼介電質嗎還是IMD55 就可

感恩

mikeppq · 发表于 2015-10-20 15:11:11

这个应该问foundry吧

michang5342 · 发表于 2015-10-21 12:18:35

MIM 电容的 CTM 是在top metal 之上的。楼主要知道的parameter 是top metal 与top-1 metal 在有CTM 覆盖时，这两层金属间的IMD 的厚度为多少...
请注意，有CTM layer 的IMD 比没有CTM 的薄很多.

semico_ljj · 发表于 2015-10-21 13:38:43

这个foundry都提供啊

[求助] Designer MIM CAP 問題

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