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[求助] ESD Implant 层与SAB层 对mos导通电阻会有较大影响吗?

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发表于 2015-9-5 15:48:24 | 显示全部楼层 |阅读模式

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我在仿真一个SMIC提供的GPIO的transition时间,输出级器件nmos比普通nmos多了两层mask——ESD Implant与SAB,然后仿真出来的transition时间比SMIC提供的LIB文件里面的数据少了将近一半。(后仿真,仿真模型用的是普通nmos model没有考虑ESD Implant与SAB,SMIC没有提供ESD device的model)
我想SAB其实增加的阻抗比较小(相比起导通电阻)可以忽略。
那么ESD implant会有较大影响吗?

另外,pmos管仿真出来也快了很多,PMOS管并没有ESD implant层。
我主要目的是要将自己做的IO做出一个LIB文件,所以我想知道正确的仿真方法。谢谢了~
发表于 2015-9-5 19:41:03 | 显示全部楼层
这跟是不是esd器件,多不多两层mask没有太大关系。
发表于 2015-9-7 16:28:47 | 显示全部楼层
个人觉得会有影响。而且这时候不能光考虑MOS的沟道情况,还要考虑整个MOS的寄生参数的改变对导通电阻的影响。ESD注入和SAB对MOS的结构改变还蛮大的。
发表于 2015-9-8 10:39:22 | 显示全部楼层
回复 1# zhujihan

对于导通电阻有一定影响!

这个PMOS用不到,只有NMOS才有
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