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请教另外一个工艺文件,多谢上次的回答!!!

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发表于 2007-4-12 22:11:07 | 显示全部楼层 |阅读模式

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sp :  P Channel device source/drain and PLDD implant
这是一层什么啊?怎么解释的啊?
发表于 2007-4-13 20:51:22 | 显示全部楼层
PLLD好像是一层generated layer,不是Drawn layer。我的理解是高压区域外的P+注入层,不知对不对?
发表于 2007-4-15 20:51:41 | 显示全部楼层
我觉得是p light drift drain  耐压的区域
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