求解silvaco定义了一个JFET结构，但是进程到掺杂就报错了。

aria_soong

楼主，可不可以请教一些silvaco编程的知识呢，生长Ge组分渐变的SiGe层在athena仿真中应该如何编程呢？从Ge含量为0%增长到15%，Ge生长速率为10%-Ge um^(-1),拜托大神了。