问一个初级的问题，是不是每个lot都是装25片的wafer？？？

jingle1020 · 发表于 2023-6-27 17:28:29

半导体小哥哥发表于 2023-6-6 16:04
这个看情况的，只能说装wafer的盒子叫Foup，然后这个装好wafer的Foup称之为1个Lot。一个Lot里的wafer最多25 ...

这个解释相对完善一点，不过 foup 和 lot的概念还不一样，不同的lot 可以放在一个foup 里。

zddfly · 发表于 2023-6-27 17:35:35

学习了

yh919 · 发表于 2023-7-22 00:26:32

goxdl 发表于 2017-6-27 20:55
现在不论8''还是12''，一个lot一般都是25pcs. 当然某个lot在MFG过程中有片wafer坏了，fab内部就scrap掉，所 ...

大佬好，您说的chamber是在某个工艺步骤中使用的设备上有不同chamber的时候会分成12+13吗？

[求助] 问一个初级的问题，是不是每个lot都是装25片的wafer？？？