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楼主: yaolihua110

[求助] 问一个初级的问题,是不是每个lot都是装25片的wafer???

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发表于 2023-6-27 17:28:29 | 显示全部楼层


半导体小哥哥 发表于 2023-6-6 16:04
这个看情况的,只能说装wafer的盒子叫Foup,然后这个装好wafer的Foup称之为1个Lot。一个Lot里的wafer最多25 ...


这个解释相对完善一点,不过 foup 和 lot的 概念还不一样,不同的lot 可以放在一个foup 里。
发表于 2023-6-27 17:35:35 | 显示全部楼层
学习了
发表于 2023-7-22 00:26:32 | 显示全部楼层


goxdl 发表于 2017-6-27 20:55
现在不论8''还是12'',一个lot一般都是25pcs. 当然某个lot在MFG过程中有片wafer坏了,fab内部就scrap掉,所 ...


大佬好,您说的chamber是在某个工艺步骤中使用的设备上有不同chamber的时候会分成12+13吗?
发表于 2024-8-27 14:32:18 | 显示全部楼层


justinaimyou 发表于 2017-6-24 21:00
8寸是25片一个lot,12寸多少不知道


工程批12pcs,量产25pcs
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