关于离子注入的问题

phyconnie · 发表于 2015-2-5 19:25:33

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

×

问一下离子注入的时候是要光刻的吧，然后离子注入的过程中是无差别的扫描，还是针对结位置的扫描呢？如果是无差别的扫描，那么离子有没有可能穿过光刻胶进入晶体呢？

phyconnie · 发表于 2015-2-5 19:42:05

rtrtrtrtrtrtrtrtrt

phyconnie · 发表于 2015-2-5 20:21:07

rtrtrtrtrtrtrtrtrt

phyconnie · 发表于 2015-2-5 20:27:08

rtrtrtrtrtrtrtrtrt

phyconnie · 发表于 2015-2-5 20:29:28

rtrtrtrtrtrtrtrtrt

phyconnie · 发表于 2015-2-5 20:34:33

rtrtrtrtrtrtrtrtrt

phyconnie · 发表于 2015-2-5 21:52:44

rtrtrtrtrtrtrtrtrt

zlxalg · 发表于 2015-2-7 11:18:48

无差别扫描。材料不一样，对离子的阻挡不一样。同样imp到PR中，为完全阻挡imp，PR的厚度需要一定的厚度。

账号		自动登录	找回密码
密码			注册

[求助] 关于离子注入的问题