关于离子注入的问题

phyconnie · 发表于 2015-2-5 19:25:33

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问一下离子注入的时候是要光刻的吧，然后离子注入的过程中是无差别的扫描，还是针对结位置的扫描呢？如果是无差别的扫描，那么离子有没有可能穿过光刻胶进入晶体呢？

phyconnie · 发表于 2015-2-5 19:42:05

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phyconnie · 发表于 2015-2-5 20:21:07

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phyconnie · 发表于 2015-2-5 20:27:08

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phyconnie · 发表于 2015-2-5 20:29:28

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phyconnie · 发表于 2015-2-5 20:34:33

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phyconnie · 发表于 2015-2-5 21:52:44

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zlxalg · 发表于 2015-2-7 11:18:48

无差别扫描。材料不一样，对离子的阻挡不一样。同样imp到PR中，为完全阻挡imp，PR的厚度需要一定的厚度。

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