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[求助] model中电阻温度系数的准确性

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发表于 2014-12-16 21:14:21 | 显示全部楼层 |阅读模式
50资产
目前在debug一个问题,怀疑是diffusion电阻的温度系数从+6%漂移到+10%左右。请问各位有经验的大神:
(1)40nm工艺中电阻的温度系数在实际制造中上能控制的很准确吗?
(2)温度系数漂移的可能性大不大?

发表于 2014-12-17 10:08:23 | 显示全部楼层
diffusion电阻就是掺杂单晶硅了,温度系数电阻什么的都和掺杂浓度有关,得问问foundary掺杂控制地多好了。
给个网站,你可以看看温度系统对掺杂浓度的敏感程度
http://www.pvlighthouse.com.au/calculators/resistivity%20calculator/resistivity%20calculator.aspx
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