CP测试所有PAD对地对电源都short了

jiang330226 · 发表于 2014-8-20 14:21:20

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流片的时候哪一层出错的可能性大？ Foundry厂会犯这种低级错误吗？电路和LVS都没有问题

mk2003 · 发表于 2014-8-20 15:14:21

对地电压多少？检查下esd

jiang330226 · 发表于 2014-8-20 15:33:13

对地电压0.01~0.02V, ESD结构以前也用过，现在貌似是所有的PAD都short了，只是在Wafer CP测试阶段。

feel100 · 发表于 2014-8-20 19:46:52

有可能发生的，重点检查下，用版情况。
还有就是划片槽的结构了解下。

hadeheng · 发表于 2020-4-26 15:39:23

相当于电源到地形成通路了，检查下DNW是不是短路了。

firstmems · 发表于 2020-4-26 16:00:13

是否考虑金属短路的可能性更大？可以在红外显微镜下观察，看看是否有热点。

chudong · 发表于 2020-5-1 22:11:35

1.确认一下该工艺是否量产过?如果工艺并不成熟就不好说了,如果量产的工艺首先从自身先找原因
2.是否有特殊器件,实际设计过程中是否偷rule?分析一下特殊器件的剖面图,偷rule情况下是否可能造成短路?

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