在线咨询
eetop公众号 创芯大讲堂 创芯人才网
切换到宽版

EETOP 创芯网论坛 (原名:电子顶级开发网)

手机号码,快捷登录

手机号码,快捷登录

找回密码

  登录   注册  

快捷导航
搜帖子
查看: 10838|回复: 27

[原创] 中科院微系统所MEMS压力传感器,流量传感器

[复制链接]
发表于 2014-11-14 15:40:24 | 显示全部楼层 |阅读模式

马上注册,结交更多好友,享用更多功能,让你轻松玩转社区。

您需要 登录 才可以下载或查看,没有账号?注册

x

    上海微技术工业研究院拥有领先的MEMS传感器设计、工艺、测试、封装和应用开发专家,以及asic设计和电路设计方面的专业团队,拥有包括4英寸MEMS研发线、8英寸“超越摩尔”研发线和8英寸CMOS量产线在内的全方位产学研平台,同时依托于上海微系统与信息技术研究所的长期MEMS研发实践,在MEMS设计、仿真、微纳兼容制造技术、先进封装工艺,以及系统集成方面都有很强的技术能力,对开发集成化、智能化、网络化传感器系统有丰富的经验,在汽车电子等方面取得了成功的应用。



                               
登录/注册后可看大图

                               
登录/注册后可看大图

汽车电子MEMS传感器

    该产学研平台在单硅片单面体硅微机械加工技术方面有独到的技术,通过对(111)单晶硅片的晶向和晶面分布的特殊性研究,结合单晶硅各项异性湿法腐蚀特性,首次阐明了单硅片单面单晶硅薄膜的成型机理,在单晶硅表面按一定规则设计一系列微型释放窗口,通过释放窗口可以实现在单晶硅衬底内部选择性横向刻蚀,进而实现单晶硅不同尺寸和厚度的薄膜释放,见下图。在此技术基础上,成功研制出一款单硅片单面加工的压阻式压力传感器。



                               
登录/注册后可看大图

                               
登录/注册后可看大图

不同尺寸单晶硅单面释放工艺         压力传感器结构示意图

    针对不断增长的消费市场需求,工研院协同中科院上海微系统所,和合作伙伴协同创新,针对市场潜力大的传感器产品进行开发,整合工艺流程和供应链资源,以实现高性价比传感器产品的大规模生产,替代进口产品,并推动MEMS新应用市场的形成。



                               
登录/注册后可看大图

                               
登录/注册后可看大图

流量传感器仿真                           流量传感器芯片和器件新

发表于 2022-3-22 07:05:30 | 显示全部楼层
very good
发表于 2022-1-30 07:06:15 | 显示全部楼层
学习了
发表于 2022-1-12 18:00:34 | 显示全部楼层
学习一下
发表于 2021-10-17 14:24:04 | 显示全部楼层
good news
发表于 2021-9-5 11:02:14 | 显示全部楼层
pretty good
发表于 2021-7-28 23:17:43 | 显示全部楼层
i like it
发表于 2021-3-22 18:42:04 | 显示全部楼层
学习学习,长长见识
发表于 2020-10-29 19:55:19 | 显示全部楼层
试验室老师要我选用苏州长显的薄膜压力传感器 说他们家的薄膜压力传感器重复性最好 我们实验室用过其它家的薄膜压力传感器 都不能用 有谁知道这种传感器的测试电路原理吗 谢谢
发表于 2018-6-26 23:34:21 | 显示全部楼层
thankyou
您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册

本版积分规则

关闭

站长推荐 上一条 /1 下一条

×

小黑屋| 关于我们| 联系我们| 在线咨询| 隐私声明| EETOP 创芯网
( 京ICP备:10050787号 京公网安备:11010502037710 )

GMT+8, 2024-3-29 08:01 , Processed in 0.031501 second(s), 10 queries , Gzip On, Redis On.

eetop公众号 创芯大讲堂 创芯人才网
快速回复 返回顶部 返回列表