版图中能否从POLY直接通过过孔连到第二层金属M2

azeee · 发表于 2014-9-4 17:48:07

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如果想从POLY到金属M2，能否直接过孔通过，我看CONTACT中只有到第一层M1的，没有直接到M2的。

或者我自己做一个从POLY到M2的过孔可行吗？？

谢谢~

azeee · 发表于 2014-9-5 09:08:06

顶一下~

kopzinc · 发表于 2014-9-5 11:20:35

这个问题看起来--- 你直接contact到m1，然后m1用via1到m2不就可以了？别试图做什么从poly到m2的过孔，首先工艺能否支持？其次这样做有什么好处或者必要？

xidianlyz · 发表于 2014-9-5 13:02:52

貌似不可用

azeee · 发表于 2014-9-5 13:50:16

回复 3# kopzinc

谢谢~明白了

semico_ljj · 发表于 2014-9-5 16:40:19

回复 1# azeee

con 和via1叠加

piao · 发表于 2014-9-5 21:28:06

支持3搂的

azeee · 发表于 2014-9-11 15:51:13

回复 6# semico_ljj

做过一个层叠，DRC报错了，我去看看错误信息改一下

liwei52711 · 发表于 2016-2-15 09:30:05

没有M1直接连到M2，只靠通孔，这个不科学啊。。。。

xuriver2012 · 发表于 2016-2-16 09:43:43

工艺不会支持的，你这样是做一个超长的孔，并且还不准备用M1，制造上没法实现。

[求助] 版图中能否从POLY直接通过过孔连到第二层金属M2