关于SOI工艺

Lawrence_LS · 发表于 2014-9-4 16:50:33

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个人理解SOT相比体硅工艺，性能好了很多，而且衬底噪声等问题也不复存在。为什么foundry厂很少提供SOI工艺呢？
是实现的难度远远大于带来的好处吗？

icfbicfb · 发表于 2014-9-4 17:54:26

贵啊，成本问题，再baidu下

franky_xiaofei · 发表于 2014-9-6 21:14:16

希望大牛来解释下

leonling933 · 发表于 2014-9-15 10:36:23

蓝宝石工艺wafer价格不得了阿

wswh5050 · 发表于 2014-9-19 16:38:52

本帖最后由 wswh5050 于 2014-9-19 16:40 编辑

一个是贵，便宜一点的PDSOI有floating gate效应，FDSOI贵，尤其是ETSOI和UTBB，成本太高，还不如做FinFET。另外一个就是散热问题，SiO2的导热差啊

ruking · 发表于 2015-4-8 15:28:16

成本问题还没解决...

icfbicfb · 发表于 2015-4-9 13:14:53

性价比差，不如cmos来的好用

sunexer · 发表于 2015-4-16 12:44:19

SOI衬底成本明显高于Si啊

peterlin2010 · 发表于 2015-4-18 06:59:40

有听说SOI 是两片WAFER 黏一起来方式
技术难
做的不多

但现在越来越多须要连MEM 类都须要使用SOI

骑猪行大漠 · 发表于 2016-3-2 11:18:24

能讲具体点吗？

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