标准CMOS工艺的参杂浓度参数

hondgen · 发表于 2014-8-21 16:26:05

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一般标准CMOS工艺中的衬底掺杂浓度、阱的掺杂浓度以及有源区的掺杂浓度分别是多少，想知道MOS管源、漏区和沟道的掺杂浓度，哪有没相关的文件介绍？

保夫鲁沙 · 发表于 2014-8-25 23:46:43

同求


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