请教一下double pattern 和 forbidden pitch的意思

oneway · 发表于 2014-8-20 17:55:15

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本帖最后由 oneway 于 2014-8-21 13:59 编辑

谁有这方面的资料么，谢谢了！

icfbicfb · 发表于 2014-8-20 21:56:21

synopsis advanced geometry user guide，

oneway · 发表于 2014-8-27 15:26:06

这里面介绍的蛮详细的

IC_Compiler_Double_Pattern_Technology.pdf (1016.7 KB, 下载次数: 823 )

icctf.pdf (2 MB, 下载次数: 470 )

icfbicfb · 发表于 2014-8-27 15:52:47

好东西，

nareshreddy · 发表于 2014-11-5 02:58:33

xczcvvcvxcvxcvxcvxcv

skvaaa · 发表于 2015-9-9 17:03:30

感谢感谢感谢感谢

william_kuang · 发表于 2015-9-10 09:36:05

double pattern 是把一块mask分成两块，两次曝光。

haijames · 发表于 2015-9-21 10:58:26

xialai kakan

jinziky · 发表于 2016-4-15 13:35:31

正好需要，谢谢！

klzq · 发表于 2016-7-7 08:33:50

学习学习，

[求助] 请教一下double pattern 和 forbidden pitch的意思