用silvaco 器件仿真

臻臻 · 发表于 2014-5-8 10:04:57

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各位大神有没有人知道怎么用silvaco中的atlas进行进行仿真的？
我要仿的是沟槽型mosfet,是0809 win版的，程序自带例子都是比较基础简单的，
想问一下trench mos 区域定义：
p-body 和n外延部分是整个外延一起定义然后p掺杂，还是这两个部分单独划分区域分别掺杂？
下面是图

若有大神做过能否提供一下结构定义的程序？感激不尽！

move · 发表于 2014-5-17 18:18:04

在外延层上掺杂做P-body和N+区

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