工艺文件的缩写名词代表意义求教！！

2002358124 · 发表于 2014-4-24 09:17:05

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如题，本人在阅读工艺文件的时候发现了几个名词缩写，不太清楚其含义，在此请教各位大侠
VTFNP
VTFNM
BVGOX
BVDN
BVDP
我大概只能猜到BVGOX代表gate oxide failed，其余的还没明白

xxmule · 发表于 2014-4-24 09:21:09

回复 1# 2002358124

把上下文截个图嘛

sltu02 · 发表于 2014-4-24 21:03:22

VTFNP==>poly gate 下面不是gate oxide，是field oxide 或是sti，這時候測filed device之Vth是怕punch
VTFNM==>metal gate之field device之Vth
BVGOX==>gate oxide breakdown
BVDN ==>N+PW之breakdown，也可能是nmos breakdown
BVDP==> P+/NW breakdown or PMOS breakdown
話說回來，這wat定義怎麼跟我們公司的一樣....