Hall 有些用电流去流过 N-wellresistor area 要多大? 但太大 cost 又会高 , 不过量产很麻烦 , 需 "高斯计" 去 , 而且, 光 CP FT 机台 连螺丝 都会影响磁力.
还有磁滞曲线 ..万一做出来有偏差. 磁滞曲线如何修? Hall sensor 版图形状要layout记得很多 type,正方或十字. 有 paper提, 不过 高精度低温度系数薄膜电阻 靠trim有 paper吗? 跟N_well 差多少? 需求精度高的场合现在都用MR了,比如AMR、GMR、TMR,甚至GMI也有产品问世,hall只能打打低端牌了。 请问, MR 能跟 CMOS 工艺一起用吗?
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