华虹BCD350工艺问题

z85644958 · 发表于 2013-10-22 19:39:19

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华虹BCD350工艺中的pl20管子跟p型隔离管剖面图一样，为什么前者高压环可以接高压，后者只能接低压？nl20和隔离n管一样？还有就是MARK层里面的ZERO不知道是干嘛用的，求诸位解惑

lemonlove79 · 发表于 2013-10-30 11:51:56

描述不够清楚截点图来，帮你看看。纵向图。。

miaoyue1999 · 发表于 2013-10-30 13:26:25

至少差了一层20VID这个吧，剖面图应该不一样的，有些东西需要逻辑运算的

wingofray · 发表于 2013-11-2 22:01:54

回复 1# z85644958

看一下ldmos的管子有没有salicide block层，HHNEC好像是SB层，没有salicide的区域，能增加poly的电阻，提高耐压。

mixiu · 发表于 2016-1-20 16:10:09

回复 1# z85644958

楼主，小弟用华虹bcd350的工艺做led驱动，pcell中少了switch管的model，可否高抬贵手发一下你的BCD350_PCELL给我，在此感激不尽，我邮箱是zhoubt616@163.com

tiamo1222 · 发表于 2016-1-21 11:04:43

对这工艺没研究过，pcell怎么区别不懂。。。
不过关于ZERO的问题：
一般design是不可能用到这层的，这层完全是用来给fab做光刻对准标记用的，也就是只有划片槽中才有图形。因为如果第一层光罩是注入，那么后面的光刻没办法对准，所以第一层做一个ZERO，做上光刻标记供后续PR对准使用。
这层是不能出现在layout数据里面的，不然后续工艺会有问题。只有最终JDV会看到scribeline里面有一点点图形。

somo · 发表于 2016-1-22 17:46:12

Xie Xie

mainhand · 发表于 2018-3-25 22:24:41

谢谢指教！！！！！

yanggaow · 发表于 2018-4-10 09:02:04

正好要用到，谢谢！

247200 · 发表于 2020-8-3 14:51:42

哪位大佬可以教我下HHG BCD350 PDK的安装吗？小白一个，求教。谢谢

[求助] 华虹BCD350工艺问题

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