求助 IBE和DRIE对比

诸葛面 · 发表于 2013-10-9 21:52:18

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如题求IBE（标准型离子束刻蚀）和DRIE（深反应离子刻蚀）的对比哪个精度更高还有加工价格

pqzhu88 · 发表于 2013-10-10 06:23:25

学习学习，长长见识

kofkoy2000 · 发表于 2013-10-10 20:58:20

IBE只用过几次，觉得选择性不太好。DRIE选择性相对来说要好得多，而且现在使用的范围要广得多。价格就不知道了。

east0609 · 发表于 2017-8-30 21:21:57

静静的看一下

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