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[求助] 求助 IBE和DRIE对比

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发表于 2013-10-9 21:52:18 | 显示全部楼层 |阅读模式

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如题求IBE(标准型离子束刻蚀)和DRIE(深反应离子刻蚀)的对比 哪个精度更高还有加工价格
发表于 2013-10-10 06:23:25 | 显示全部楼层
学习学习,长长见识
发表于 2013-10-10 20:58:20 | 显示全部楼层
IBE只用过几次,觉得选择性不太好。DRIE选择性相对来说要好得多,而且现在使用的范围要广得多。价格就不知道了。
发表于 2017-8-30 21:21:57 | 显示全部楼层
静静的看一下
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