Lithography，2010年Intech出品，英文pdf，彩色高清

yyt1 · 发表于 2013-10-11 07:43:46

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介绍了近年来在光刻技术方面的最新进展及发展趋势，包括EUV、X-射线光刻，电子束、离子束光刻，纳米压印，表面等离子体光刻等。

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lijianhust · 发表于 2013-10-11 10:41:49

支持了，学习下

lyfztz · 发表于 2013-10-11 14:29:53

so good materials.thanks!

pqzhu88 · 发表于 2013-10-12 07:34:12

學習了!!好资料，多谢楼主了

yyt1 · 发表于 2013-10-13 12:23:52

facteur · 发表于 2013-10-16 06:34:26

學習了!!好资料，多谢楼主了

yyt1 · 发表于 2013-11-22 09:01:48

好东东就是要拿出来共享的

qwert05054 · 发表于 2013-11-22 23:40:46

非常棒，很清楚，谢谢楼主分享

mxlvljr · 发表于 2013-11-26 20:22:25

double patterning....

mxlvljr · 发表于 2013-11-26 20:40:23

litho的机台好贵啊啊啊

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