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[转载] 液体粘度传感器小型化,日本产综研利用MEMS技术实现

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发表于 2013-8-8 11:34:22 | 显示全部楼层 |阅读模式

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日本产业技术综合研究所开发出了基于MEMS(微电子机械系统)技术的粘度传感器,并在“日本Nano Micro Business展”(东京有明国际会展中心,7月5日闭幕)上进行了展示。

         
从玻璃容器中取出的粘度传感器(点击放大)      

  表示传感器构造的模型(点击放大)
       该传感器的尺寸小于机械式粘度传感器,设想的用途为安装在设备的管道内进行实时测量。

       传感器部分采用双螺旋形状,浸入液体中使用。一层螺旋在外部磁铁的作用下振动,另一层螺旋则在液体的粘性作用下运动,根据运动的程度测量液体粘度。该传感器收纳在USB存储器大小的不锈钢外壳中。
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