大家版图上的对图符号都设计成什么样

kinoform · 发表于 2013-6-27 23:54:43

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怎么样才能保证对准精度？
我的线条在几微米，但希望套准精度在1um以下
接触式报光，
什么样符号好呢

allen_tang · 发表于 2013-6-28 09:36:40

呃，是alignment mark，封装时用的吧?
另外还有是接触式曝光...

kingder1978 · 发表于 2013-7-1 14:07:14

这个工艺有点老了，对准标记基本都画成7或者L这样的

alice_xyf · 发表于 2013-7-16 17:56:04

我画过L mark

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