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查看: 5363|回复: 1

[求助] 跪求suprem各种资料啊

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stuck
发表于 2013-4-9 22:15:37 | 显示全部楼层 |阅读模式

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在suprenm中如何才能减少离子注入时横向的扩散啊
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lihongpeng0431
发表于 2013-11-19 15:13:45 | 显示全部楼层
退火时间 温度 控制的
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